1
集成电路产业与技术 回顾和展望
段力行
2012.6
2
集成电路的市场
3
集成电路高技术产业类别
4
21世纪半导体工业的转型
5
集成电路业的三种工作
6
集成电路工程学 (软知识)
7
未来十年 - 系统集成 （SOC） CMOS 专用模块 + 射频·声·光·磁·压……
Wireless (RF) ，
MEMS
Sensors
声，
光，
磁，
压
其他组件（物理信号）
FPGA-Field Programmable Gate Array
CPLD-Complex Programmable Logic Device
ASSP, ASIC, IP, ADC, DSP, ARM, MIPS
FLASH, SRAM, Anti-FUSE
CMOS专用模块
8
集成电路技术 回顾·展望·瓶颈分析
器件结构与技术
12
集成技术发展 – 时间
13
集成技术发展 – 空间
【目标】
减小尺度，增加集成度
提高性能
增加有用功（3D，μ，tox
减少无用功（S(ubthreshold Slope)，C(apacitance)
【瓶颈】
漏电流：Mobile
统计偏差：FinFET，T(unnel)FET
27
FIN
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... ...
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